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Multicomponent Physical Vapor Deposited Films with Homogeneous Molecular Material Distribution Featuring Improved Resist Sensitivity

Titelangaben

Kolb, Tristan ; Neuber, Christian ; Krysak, Marie ; Ober, Christopher K. ; Schmidt, Hans-Werner:
Multicomponent Physical Vapor Deposited Films with Homogeneous Molecular Material Distribution Featuring Improved Resist Sensitivity.
In: Advanced Functional Materials. Bd. 22 (2012) Heft 18 . - S. 3865-3873.
ISSN 1616-301X
DOI: https://doi.org/10.1002/adfm.201103130

Angaben zu Projekten

Projektfinanzierung: Deutsche Forschungsgemeinschaft
Bayerisches Staatsministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst

Abstract

Each film preparation technique affects the physical properties of the resulting coating and thus defines its applicability in modern device construction. In this context solvent based spin coated and solvent-free physical vapor deposited molecular glass photoresist films are systematically investigated for their dissolution behavior, sensitivity, and overall lithographic performance. These investigations demonstrate that the solvent-free physical vapor deposition leads to a marked increase in sensitivity. This could be explained by the individual molecule by molecule deposition step producing a more homogeneous distribution of the multicomponent resist system, especially the photoacid generator. In addition, this assumption is supported by former published simulations focusing on aggregate formation within thin films. This work demonstrates that the lithographic sensitivity of multicomponent resist system is an intrinsic parameter to investigate molecular material distribution and indicates that the applied film preparation technique is crucial for the corresponding performance and applicability.

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Institutionen der Universität: Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften
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Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I - Univ.-Prof. Dr. Hans-Werner Schmidt
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Forschungseinrichtungen > Sonderforschungsbereiche, Forschergruppen > SFB 481 Komplexe Makromolekül- und Hybridsysteme in inneren und äußeren Feldern
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Graduierteneinrichtungen > Elitenetzwerk Bayern
Graduierteneinrichtungen > Elitenetzwerk Bayern > Macromolecular Science
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie
Eingestellt am: 29 Jun 2015 09:00
Letzte Änderung: 29 Jun 2015 09:00
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/1191