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Tailored Star Block Copolymer Architecture for High Performance Chemically Amplified Resists

Titelangaben

Wieberger, Florian ; Neuber, Christian ; Ober, Christopher K. ; Schmidt, Hans-Werner:
Tailored Star Block Copolymer Architecture for High Performance Chemically Amplified Resists.
In: Advanced Materials. Bd. 24 (2012) Heft 44 . - S. 5939-5944.
ISSN 1521-4095
DOI: https://doi.org/10.1002/adma.201201547

Angaben zu Projekten

Projektfinanzierung: Deutsche Forschungsgemeinschaft

Abstract

Star block copolymers are demonstrated for their application as a high-performance resist material. This new resist material shows advanced progress in sensitivity and solubility contrast and is finally combinatorially optimized to achieve a 66 nm line/space pattern. The tailored molecular architecture of the star block copolymer is synthesized via core-first atom transfer radical polymerization (ATRP) and shows narrow polydispersity indices below 1.2.

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Institutionen der Universität: Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I - Univ.-Prof. Dr. Hans-Werner Schmidt
Profilfelder
Profilfelder > Advanced Fields
Profilfelder > Advanced Fields > Polymer- und Kolloidforschung
Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien
Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Institut für Makromolekülforschung - BIMF
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Zentrum für Kolloide und Grenzflächen - BZKG
Forschungseinrichtungen > Sonderforschungsbereiche, Forschergruppen
Forschungseinrichtungen > Sonderforschungsbereiche, Forschergruppen > SFB 481 Komplexe Makromolekül- und Hybridsysteme in inneren und äußeren Feldern
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie
Eingestellt am: 29 Jun 2015 09:27
Letzte Änderung: 29 Jun 2015 09:27
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/1202