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Einfluss der Schichterzeugung auf TiO2-Dünnschicht-Gassensoren

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Ebersberger, Lucas ; Fischerauer, Gerhard:
Einfluss der Schichterzeugung auf TiO2-Dünnschicht-Gassensoren.
In: Sensoren und Messsysteme 2014 : Beiträge der 17. ITG/GMA-Fachtagung vom 3. bis 4. Juni 2014. - Berlin und Offenbach : VDE-Verlag , 2014 . - 4 S. . - (ITG-Fachbericht ; 250 )
ISBN 978-3-8007-3622-5

Abstract in another language

Es wurden Kohlenwasserstoff-Sensoren mit Titandioxid-(TiO2-)Dünnschichten über planaren Interdigitalektroden aus Aluminium hergestellt. Dabei wurde das TiO2 bei den einen Bauelementen durch thermische Oxidation von zuvor abgeschiedenem Titan erzeugt, bei den anderen dagegen durch reaktives Ionenstrahlsputtern von einem metallischen Target unter Zugabe von Sauerstoff. Die Auswirkung der unterschiedlichen Prozessierung auf die Schichtstruktur wurde mittels Rasterkraftmikroskopie (AFM) und Lichtmikroskopie untersucht. Die Reaktion der Sensoren auf die Kohlenwasserstoffkonzentration (bis zu 100 ppm Propan) wurde impedanzspektroskopisch gemessen. Diese Messungen ergaben, dass die Sensoren robust gegenüber der Prozessierungsroute sind. Die durch die Variation der Abscheidemethode erzeugten Unterschiede in der Schicht wurden anschließend genutzt, um Material- von Prozess-eigenschaften zu unterscheiden und somit Sensormechanismen aufzuklären.

Abstract in another language

We have fabricated hydrocarbon sensors with titanium oxide (TiO2) thin films on top of planar interdigital electrodes made from aluminum. In one class of sensor elements, the TiO2 was created by thermal oxidation of pre-deposited titanium, in a second class, it was created by reactive ion-beam sputtering from a metallic target in the presence of oxygen. The effect of the processing details on the thin-film structure was investigated by atomic-force and light microscopy. The response of the sensors to the ambient hydrocarbon concentration (up to 100 ppm of propane) were observed by impedance spectroscopy. The measurements revealed that the sensors are robust with respect to the processing route. Finally, the variation in the film structure brought about by the processing details were used to separate material properties from process properties and to throw light on the sensor mechanisms at work.

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Item Type: Article in a book
Refereed: No
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Measurement and Control Technology > Chair Measurement and Control Technology - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Measurement and Control Technology
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 09 Mar 2016 07:09
Last Modified: 09 Mar 2016 07:16
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/31646