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Vorrichtung zur aerosolbasierten Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM)

Titelangaben

Bruckner, Michaela ; Engelbrecht, Andreas ; Exner, Jörg ; Hanft, Dominik ; Moos, Ralf ; Schubert, Michael ; Stöcker, Thomas:
Vorrichtung zur aerosolbasierten Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM).
DE102015012425A1 (2015)

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Anlage zur aerosolbasierten Kaltabscheidung von Pulvern, deren Vakuumkammer, entsprechend des Vorbildes einer Saugglocke, erst während des Prozesses gebildet wird, indem ein Substrat, ein Substratträger, eine Substratauflage oder eine Düsenplatte, direkt bzw. unter Zuhilfenahme einer Dichtung, einen einseitig geöffneten Hohlkörper verschließt. Dadurch ist es möglich das Vakuumkammervolumen, unabhängig von der Substratgröße, zu reduzieren, um so Platz sowie Evakuierungs- bzw. Totzeit einzusparen.

Weitere Angaben

Publikationsform: Patent
Datum der Anmeldung des Patents: 25 September 2015
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT
Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien
Profilfelder
Profilfelder > Advanced Fields
Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften
Eingestellt am: 03 Apr 2017 08:00
Letzte Änderung: 03 Apr 2017 08:00
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/36733