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Submicron Contact Printing on Silicon Using Stamp Pads

Titelangaben

Pompe, Tilo ; Fery, Andreas ; Herminghaus, Stephan ; Kriele, A ; Lorenz, H ; Kotthaus, J. P.:
Submicron Contact Printing on Silicon Using Stamp Pads.
In: Langmuir. Bd. 15 (März 1999) Heft 7 . - S. 2398-2401.
ISSN 1520-5827
DOI: https://doi.org/10.1021/la980429s

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Abstract

Submicron scale microcontact printing of silanes onto silicon wafers is studied. Silicon microstructures are used as masters to prepare silicone rubber stamps, which are found to peel off the master easily even at wedge angles of 80\,\circ if the master has been silanized before. Stripe structures with periodicities down to 200 nm were generated. At these small scales, capillary condensation in the wedges of the stamp during the stamping process is difficult to avoid. We demonstrate a novel ``stamp pad'' technique which allows us to overcome this problem.

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Ehemalige Professoren > Lehrstuhl Physikalische Chemie II - Univ.-Prof. Dr. Andreas Fery
Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Lehrstuhl Physikalische Chemie II
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Ehemalige Professoren
Titel an der UBT entstanden: Nein
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 500 Naturwissenschaften
500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie
Eingestellt am: 09 Dec 2014 10:52
Letzte Änderung: 11 Feb 2015 14:04
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/4060