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Verfahren zur Herstellung eines Sensors, Sensor und Verwendung eines Sensors

Titelangaben

Dietmann, Stefan ; Moos, Ralf ; Schubert, Michael ; Turwitt, Martin ; Wienand, Karlheinz ; Zinkevich, Matsvei:
Verfahren zur Herstellung eines Sensors, Sensor und Verwendung eines Sensors.
DE 102016119340 (2016)

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sensors, insbesondere eines Temperatursensors, umfassend mindestens eine elektrisch leitfähige Schicht und mindestens eine weitere Schicht, insbesondere eine Passivierungsschicht und/oder eine Isolationsschicht. Erfindungsgemäß wird die elektrisch leitfähige Schicht und/oder die weitere Schicht, insbesondere die Passivierungsschicht und/oder die Isolationsschicht, mittels Aerosol-Abscheidung (Aerosol Deposition Method, ADM) hergestellt.

Weitere Angaben

Publikationsform: Patent
Patentanmelder: Heraeus Sensor Technology GmbH, 63450, Hanau, DE
Datum der Anmeldung des Patents: 11 Oktober 2016
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT
Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien
Profilfelder
Profilfelder > Advanced Fields
Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften
Eingestellt am: 18 Apr 2018 08:30
Letzte Änderung: 08 Nov 2018 10:49
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/43542