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Verfahren zur Herstellung eines Sensors, Sensor und Verwendung eines Sensors

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Dietmann, Stefan ; Moos, Ralf ; Schubert, Michael ; Turwitt, Martin ; Wienand, Karlheinz ; Zinkevich, Matsvei:
Verfahren zur Herstellung eines Sensors, Sensor und Verwendung eines Sensors.
DE 102016119340 (2016)

Official URL: Volltext

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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sensors, insbesondere eines Temperatursensors, umfassend mindestens eine elektrisch leitfähige Schicht und mindestens eine weitere Schicht, insbesondere eine Passivierungsschicht und/oder eine Isolationsschicht. Erfindungsgemäß wird die elektrisch leitfähige Schicht und/oder die weitere Schicht, insbesondere die Passivierungsschicht und/oder die Isolationsschicht, mittels Aerosol-Abscheidung (Aerosol Deposition Method, ADM) hergestellt.

Further data

Item Type: Patent
Patent Applicant: Heraeus Sensor Technology GmbH, 63450, Hanau, DE
Date of the patent's registration: 11 October 2016
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials
Research Institutions > Research Centres > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials
Profile Fields
Profile Fields > Advanced Fields
Research Institutions
Research Institutions > Research Centres
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 18 Apr 2018 08:30
Last Modified: 08 Nov 2018 10:49
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/43542