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Aerosolbasierte Kaltabscheidung : Codeposition und Charakterisierung der mechanischen Schichtspannungen

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Schneider, Jürgen:
Aerosolbasierte Kaltabscheidung : Codeposition und Charakterisierung der mechanischen Schichtspannungen.
Bayreuth , 2019
( Bachelor thesis, 2019 , Universität Bayreuth, Fakultät für Ingenieurwissenschaften, Lehrstuhl für Funktionsmaterialien)

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Im Rahmen dieser Arbeit wurde mithilfe der aerosolbasierten Kaltabscheidung die Codeposition von Strontiumtitanat-Ferrat und Aluminiumoxid untersucht. Ziel der Arbeit war es, ein besseres Verständnis des Beschichtungsmechanismus zu erlangen und den Einfluss auf die mechanischen Schichtspannungen zu untersuchen. Strontiumtitanat-Ferrat (SrTi0,65Fe0,35O3-δ, STF35) wurde über die Mischoxidroute synthetisiert und mit Aluminiumoxid in sechs verschiedenen Verhältnissen gemischt. Aus diesen Mischungen wurden mit der aerosolbasierten Kaltabscheidung Beschichtungen auf verschiedenen Substraten hergestellt. Mit Hilfe der Stoney-Gleichung konnten die mechanischen Schichtspannungen in Abhängigkeit des Mischungsverhältnisses im Ausgangspulver bestimmt werden. Die Verfahren der Rasterelektronenmikroskopie und der Röntgendiffraktometrie wurden herangezogen, um die Beschichtungen auf ihre Morphologie und ihre Zusammensetzung hin zu analysieren. Des Weiteren wurden aus den Mischungen Schichten auf planare Substrate, die mit einer Vierleiterelektrodenstruktur versehen waren, abgeschieden und anschließend bei verschiedenen Temperaturen elektrisch charakterisiert. Es konnte gezeigt werden, dass sich das Beschichtungsverhalten und die Schichtmikrostruktur maßgeblich über die mechanischen Eigenschaften der Pulverkomponenten und deren Mischungsverhältnisse beeinflussen lassen. Die Schichtspannungen können durch gezielte Erhöhung des Gehalts an STF35 verringert werden. Die elektrische Leitfähigkeit der Schichten nimmt gleichzeitig zu. Zusätzlich kann durch eine nachträgliche Temperaturbehandlung die elektrische Leitfähigkeit der Schichten weiter erhöht werden (Tempereffekt).

Further data

Item Type: Bachelor thesis
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials
Research Institutions > Research Centres > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 16 Sep 2019 08:36
Last Modified: 16 Sep 2019 08:36
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/52153