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Sensoren in LTCC-Technologie

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Rettig, Frank:
Sensoren in LTCC-Technologie.
Bayreuth , 2003
(Diploma, 2003 , Universität Bayreuth, Fakultät für Ingenieurwissenschaften, Lehrstuhl für Funktionsmaterialien)

Abstract in another language

Diese Diplomarbeit befasste sich mit der Herstellung von Gassensoren mit Hilfe der LTCC-Technologie. Dabei wurden Strukturen, wie sie typischerweise in der Silizium-Mikromechanik verwendet werden (sogenannte Hot-Plates), mit Hilfe strukturierter LTCC-Folien hergestellt. Ziel war es, einen Transducer für einen Gassensor herzustellen, der verglichen mit konventionellen keramischen Sensoren einen deutlich verringerten Heizleistungsbedarf aufweist. Gleichzeitig sollte die Hot-Plate hochtemperaturtauglich und der komplette Sensor integrierbar sein. Durch die bis zu Beginn der Arbeit noch nicht untersuchte Idee, aus der Silizium-Mikromechanik entnommene Strukturen mit Hilfe der LTCCTechnologie herzustellen, sollten Sensoren herstellbar sein, die auch bei kleinen Stückzahlen noch kostengünstig fertigbar sind.

Die im Rahmen dieser Arbeit durchgeführten Berechnungen und Versuche belegen, dass es möglich ist, in LTCC-Technologie Gassensoren in Form einer Hot-Plate herzustellen. Der geringe Heizleistungsbedarf von Gassensoren in Silizium-Mikromechanik konnte noch nicht erreicht werden, dafür sind die Vorteile bei der Hochtemperaturstabilität und bei der kostengünstigen Herstellung unübersehbar.

Further data

Item Type: Master's, Magister, Diploma, or Admission thesis (Diploma)
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials
Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials
Research Institutions > Research Centres > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT
Profile Fields
Profile Fields > Advanced Fields
Research Institutions
Research Institutions > Research Centres
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 19 Feb 2015 12:18
Last Modified: 15 Aug 2016 08:30
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/6650