bei Google ScholarTitelangaben
Rettig, Frank:
Sensoren in LTCC-Technologie.
Bayreuth
,
2003
(Diplomarbeit,
2003
, Universität Bayreuth, Fakultät für Ingenieurwissenschaften, Lehrstuhl für Funktionsmaterialien)
Abstract
Diese Diplomarbeit befasste sich mit der Herstellung von Gassensoren mit Hilfe der LTCC-Technologie. Dabei wurden Strukturen, wie sie typischerweise in der Silizium-Mikromechanik verwendet werden (sogenannte Hot-Plates), mit Hilfe strukturierter LTCC-Folien hergestellt. Ziel war es, einen Transducer für einen Gassensor herzustellen, der verglichen mit konventionellen keramischen Sensoren einen deutlich verringerten Heizleistungsbedarf aufweist. Gleichzeitig sollte die Hot-Plate hochtemperaturtauglich und der komplette Sensor integrierbar sein. Durch die bis zu Beginn der Arbeit noch nicht untersuchte Idee, aus der Silizium-Mikromechanik entnommene Strukturen mit Hilfe der LTCCTechnologie herzustellen, sollten Sensoren herstellbar sein, die auch bei kleinen Stückzahlen noch kostengünstig fertigbar sind.
Die im Rahmen dieser Arbeit durchgeführten Berechnungen und Versuche belegen, dass es möglich ist, in LTCC-Technologie Gassensoren in Form einer Hot-Plate herzustellen. Der geringe Heizleistungsbedarf von Gassensoren in Silizium-Mikromechanik konnte noch nicht erreicht werden, dafür sind die Vorteile bei der Hochtemperaturstabilität und bei der kostengünstigen Herstellung unübersehbar.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Master-, Magister-, Diplom- oder Zulassungsarbeit (Diplomarbeit) |
|---|---|
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT Profilfelder Profilfelder > Advanced Fields Forschungseinrichtungen Forschungseinrichtungen > Forschungszentren |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 19 Feb 2015 12:18 |
| Letzte Änderung: | 15 Aug 2016 08:30 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/6650 |