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Messsystem zur Erfassung der Phasenfronten von hochfrequenten Oberflächenwellen

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Gollwitzer, Andreas ; Fischerauer, Gerhard:
Messsystem zur Erfassung der Phasenfronten von hochfrequenten Oberflächenwellen.
In: Fischerauer, Gerhard (ed.): XX. Messtechnisches Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik e.V. : 5. Oktober bis 7. Oktober 2006 in Bayreuth. - Aachen : Shaker , 2006 . - pp. 157-168 . - (Messtechnik und Sensorik )
ISBN 3-8322-5419-6

Abstract in another language

Die Entwicklung von akustischen Oberflächenwellen-(OFW)-Filtern wird stets durch Softwaretools unterstützt. Zur Validierung und Verifikation dieser Werkzeuge ist es vorteilhaft, die akustischen Wellen sichtbar zu machen. Die größte Herausforderung bei dieser Messaufgabe liegt darin eine hochfrequente Schwingungsamplitude von unter 1 nm zu erfassen. In diesem Artikel wird ein Verfahren zur Visualisierung dieser akustischen OFW mit Hilfe eines modifizierten homodynen Michelson-Interferometers beschrieben. Das zerstörungsfreie und berührungslose Messsystem kann dabei sowohl die relativen Amplituden als auch die Phasenfronten der akustischen Welle mit Hilfe eines 2D-Scans sichtbar machen. Durch die geschickte Verbindung zwischen optischer Messtechnik und digitaler Signalverarbeitung ist eine Kalibration des Interferometers unnötig. Nachfolgend werden die Besonderheiten des Messsystems beschrieben. Im Anschluss werden Messungen eines OFW-Filters vorgestellt.

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Item Type: Article in a book
Refereed: No
Additional notes: Tagungsband
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Measurement and Control Technology > Chair Measurement and Control Technology - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Measurement and Control Technology
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 16 Nov 2021 09:02
Last Modified: 16 Nov 2021 09:02
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/67803