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In Schichttechnologie hergestellter Stoffsensor

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Hürland, Armin ; Moos, Ralf ; Rettig, Frank:
In Schichttechnologie hergestellter Stoffsensor.
DE 10019979 (2000)

Abstract in another language

Die Erfindung betrifft einen in Schichttechnologie hergestellten Stoffsensor, bei dessen Herstellung ein Brennprozess durch laufen wird, umfassend eine Sensorfunktionsschicht (10), sowie ein weiteres strukturellles Element (2). Erfindungsgemäß befindet sich zwischen der Sensorfunktionsschicht (10) und dem weiteren strukturellen Element (2) eine Zwischenschicht (8), um bei dem Brennprozess Wechselwirkungen zwischen Sensorfunktionsschicht (10) und dem weiteren strukturellen Element (2) zu verhindern, wobei die Zwischenschicht (8) sowohl eine stoffliche Komponente der Funktionsschicht (10) als auch eine stoffliche Komponente des weiteren strukturellen Elements (2) enthält, und die Zwischenschicht (8) einen höheren elektrischen Widerstand aufweist als die Sensorfunktionsschicht (10).

Further data

Item Type: Patent
Date of the patent's registration: 22 April 2000
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials
Result of work at the UBT: No
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 25 Mar 2015 08:36
Last Modified: 04 Apr 2016 08:07
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/8323