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Müller, Harald:
Neue Photoresists für die Mikroelektronik, ihre Modellverbindungen und deren Reaktionen in Lösung und in der Schmelze.
1989
. - 307, A16 S.
(
Dissertation,
1989
, Universität Bayreuth, Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften)
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Dissertation |
|---|---|
| Keywords: | Integrierte Schaltung; Photoresist |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Ehemalige Professoren Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie |
| Eingestellt am: | 15 Jan 2016 09:24 |
| Letzte Änderung: | 15 Jan 2016 09:24 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/26047 |