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Neue Photoresists für die Mikroelektronik, ihre Modellverbindungen und deren Reaktionen in Lösung und in der Schmelze

Title data

Müller, Harald:
Neue Photoresists für die Mikroelektronik, ihre Modellverbindungen und deren Reaktionen in Lösung und in der Schmelze.
1989 . - 307, A16 S.
( Doctoral thesis, 1989 , Universität Bayreuth, Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften)

Further data

Item Type: Doctoral thesis
Keywords: Integrierte Schaltung; Photoresist
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Biology, Chemistry and Earth Sciences > Department of Chemistry
Faculties > Faculty of Biology, Chemistry and Earth Sciences > Department of Chemistry > Former Professors
Faculties
Faculties > Faculty of Biology, Chemistry and Earth Sciences
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 500 Science > 530 Physics
500 Science > 540 Chemistry
Date Deposited: 15 Jan 2016 09:24
Last Modified: 15 Jan 2016 09:24
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/26047