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Dual PE-CVD Circulating Fluidized Bed Reactor

Titelangaben

Tap, Roland ; Willert-Porada, Monika:
Dual PE-CVD Circulating Fluidized Bed Reactor.
In: IEEE Transactions on Plasma Science. Bd. 32 (2004) Heft 5 . - S. 2085-2092.
ISSN 0093-3813
DOI: https://doi.org/10.1109/TPS.2004.835969

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Abstract

Fluidized bed reactors (FBR) are widely used in chemical engineering, as well as for raw materials processing because of the excellent heat and mass transfer in a fluidized bed. A new FBR was developed for plasma assisted synthesis and coating of granular solid materials by integration of the FBR simultaneously into two different microwave cavities: a microwave plasma cavity and a chemical vapor deposition (CVD) cavity, where microwave radiation is used to heat the granular material. With such a FBR, a systematic study of plasma activation of the granular material on the chemical reaction taking place at the surface of the granular material is possible. The interaction of the fluidized particles with the microwave field influences the ignition, as well as the stability of the microwave plasma significantly. As compared to a single stage CVD-FBR or a single stage plasma enhanced (PE-FBR) coating performance and process control is significantly improved by the newly developed dual-zone circulating PE-CVD-FBR.

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Ehemalige Professoren > Lehrstuhl Werkstoffverarbeitung - Univ.-Prof. Dr. Monika Willert-Porada
Forschungseinrichtungen > Forschungsstellen > ZET - Zentrum für Energietechnik
Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Werkstoffverarbeitung
Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Forschungsstellen
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Ehemalige Professoren
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 500 Naturwissenschaften
600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften
Eingestellt am: 04 Mai 2015 13:15
Letzte Änderung: 04 Mai 2015 13:15
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/11511