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Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in-situ-Ellipsometriestudie

Title data

von Keudell, Achim:
Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in-situ-Ellipsometriestudie.
1996 . - 93 S.
( Doctoral thesis, 1996 , Universität Bayreuth, Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik)

Further data

Item Type: Doctoral thesis
Keywords: Amorpher Zustand; Ellipsometrie; Kohlenwasserstoffe; PECVD-Verfahren; Schichtwachstum
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Mathematics, Physics und Computer Science
Faculties > Faculty of Mathematics, Physics und Computer Science > Department of Physics
Faculties > Faculty of Mathematics, Physics und Computer Science > Department of Physics > Former Professors
Faculties
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 500 Science > 530 Physics
Date Deposited: 25 Feb 2016 09:08
Last Modified: 05 Apr 2016 13:17
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/27587