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Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in-situ-Ellipsometriestudie

Titelangaben

von Keudell, Achim:
Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in-situ-Ellipsometriestudie.
1996 . - 93 S.
( Dissertation, 1996 , Universität Bayreuth, Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik)

Weitere Angaben

Publikationsform: Dissertation
Keywords: Amorpher Zustand; Ellipsometrie; Kohlenwasserstoffe; PECVD-Verfahren; Schichtwachstum
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik
Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik > Physikalisches Institut
Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik > Physikalisches Institut > Ehemalige Professoren
Fakultäten
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
Eingestellt am: 25 Feb 2016 09:08
Letzte Änderung: 05 Apr 2016 13:17
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/27587