bei Google ScholarTitelangaben
von Keudell, Achim:
Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in-situ-Ellipsometriestudie.
1996
. - 93 S.
(
Dissertation,
1996
, Universität Bayreuth, Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik)
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Dissertation |
|---|---|
| Keywords: | Amorpher Zustand; Ellipsometrie; Kohlenwasserstoffe; PECVD-Verfahren; Schichtwachstum |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik > Physikalisches Institut Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik > Physikalisches Institut > Ehemalige Professoren Fakultäten |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik |
| Eingestellt am: | 25 Feb 2016 09:08 |
| Letzte Änderung: | 05 Apr 2016 13:17 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/27587 |