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Influence of the substrate on the overall sensor impedance of planar H₂ sensors involving TiO₂-SnO₂ interfaces

Titelangaben

Ebersberger, Lucas ; Fischerauer, Gerhard:
Influence of the substrate on the overall sensor impedance of planar H₂ sensors involving TiO₂-SnO₂ interfaces.
In: Journal of Sensors and Sensor Systems. Bd. 4 (August 2015) Heft 1 . - S. 85-90.
ISSN 2194-878X
DOI: 10.5194/jsss-4-85-2015

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Angaben zu Projekten

Projektfinanzierung: Bundesministerium für Bildung und Forschung

Abstract

To date, very little has been written about the influence of the substrate layer on the overall sensor impedance of single- and multilayer planar sensors (e. g., metal-oxide sensors). However, the substrate is an elementary part of the sensor element. Through the selection of a substrate, the sensor performance can be manipulated. The current contribution reports on the substrate influence in multi-layer metal-oxide chemical sensors. Measurements of the impedance are used to discuss the sensor performance with quartz substrates, (laboratory) glass substrates and substrates covered by silicon dioxide insulating layers. Numerical experiments based on previous measurement results show that inexpensive glass substrates contribute up to 97 % to the overall sensor responses. With an isolating layer of 200 nm SiO₂, the glass substrate contribution is reduced to about 25 %.

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Keywords: Planar gas sensors;, metal oxides; interdigital electrodes; impedance spectroscopy; substrate influence
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer
Profilfelder > Emerging Fields > Energieforschung und Energietechnologie
Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik
Profilfelder
Profilfelder > Emerging Fields
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften
Eingestellt am: 16 Feb 2016 08:00
Letzte Änderung: 10 Mär 2016 09:08
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/30823