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Messsystem zur Erfassung der Phasenfronten von hochfrequenten Oberflächenwellen

Titelangaben

Gollwitzer, Andreas ; Fischerauer, Gerhard:
Messsystem zur Erfassung der Phasenfronten von hochfrequenten Oberflächenwellen.
In: Technisches Messen. Bd. 74 (April 2007) Heft 4 . - S. 235-242.
ISSN 2196-7113
DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2007.74.4.235

Angaben zu Projekten

Projektfinanzierung: Bayerisches Staatsministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst

Abstract

Es wird ein neues interferometrisches Verfahren zur Erfassung von akustischen Oberflächenwellen (OFW) im Gigahertzbereich mit einer Amplitude unterhalb einem Nanometer vorgestellt. Durch den Einsatz eines vektoriellen Netzwerkanalysators (VNA) ist das zerstörungsfreie und berührungslose Messverfahren in der Lage, sowohl die Amplitude als auch die Phase der Schwingung an jedem Punkt der zu untersuchenden Oberfläche zu bestimmen. Erweiterungen am homodynen Michelson-Interferometer und anschließende digitale Signalverarbeitung machen den Aufbau unempfindlich gegenüber der Längendifferenz der beiden Interferometerarme. Es wird außerdem gezeigt, wie an Hand der Messdaten die richtungsabhängige Ausbreitungsgeschwindigkeit der akustischen Wellen ermittelt werden können.

Abstract in weiterer Sprache

We present a noval interferometric approach to measure surface acoustic waves (SAW) at frequencies in the gigahertz range and with amplitudes below one nanometer. By the use of a vector network analyser (VNA), the non-destructive and contact-free measurement method is capable of determining the amplitude and the phase of the vibration in every point of the observed surface. Extensions to the homodyne Michelson interferometer and subsequent digital signal processing make the setup insensitive of the path length difference of the two interferometer arms. It will be shown the measurement enable one to calculate the direction-dependent velocity of the acoustic waves.

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Keywords: Michelson-Interferometer; Amplituden- und Phasenmessung; akustische Oberflächenwellen; OFW; Materialdatenbestimmung; Michelson interferometer; amplitude and phase detection; surface acoustic waves; SAW; material characterisation
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer
Profilfelder > Emerging Fields > Energieforschung und Energietechnologie
Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik
Profilfelder
Profilfelder > Emerging Fields
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften
Eingestellt am: 19 Feb 2016 06:55
Letzte Änderung: 19 Feb 2016 06:55
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/30868