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Messsystem zur Erfassung der Phasenfronten von hochfrequenten Oberflächenwellen

Title data

Gollwitzer, Andreas ; Fischerauer, Gerhard:
Messsystem zur Erfassung der Phasenfronten von hochfrequenten Oberflächenwellen.
In: Technisches Messen. Vol. 74 (April 2007) Issue 4 . - pp. 235-242.
ISSN 2196-7113
DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2007.74.4.235

Project information

Project financing: Bayerisches Staatsministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst

Abstract in another language

Es wird ein neues interferometrisches Verfahren zur Erfassung von akustischen Oberflächenwellen (OFW) im Gigahertzbereich mit einer Amplitude unterhalb einem Nanometer vorgestellt. Durch den Einsatz eines vektoriellen Netzwerkanalysators (VNA) ist das zerstörungsfreie und berührungslose Messverfahren in der Lage, sowohl die Amplitude als auch die Phase der Schwingung an jedem Punkt der zu untersuchenden Oberfläche zu bestimmen. Erweiterungen am homodynen Michelson-Interferometer und anschließende digitale Signalverarbeitung machen den Aufbau unempfindlich gegenüber der Längendifferenz der beiden Interferometerarme. Es wird außerdem gezeigt, wie an Hand der Messdaten die richtungsabhängige Ausbreitungsgeschwindigkeit der akustischen Wellen ermittelt werden können.

Abstract in another language

We present a noval interferometric approach to measure surface acoustic waves (SAW) at frequencies in the gigahertz range and with amplitudes below one nanometer. By the use of a vector network analyser (VNA), the non-destructive and contact-free measurement method is capable of determining the amplitude and the phase of the vibration in every point of the observed surface. Extensions to the homodyne Michelson interferometer and subsequent digital signal processing make the setup insensitive of the path length difference of the two interferometer arms. It will be shown the measurement enable one to calculate the direction-dependent velocity of the acoustic waves.

Further data

Item Type: Article in a journal
Refereed: Yes
Keywords: Michelson-Interferometer; Amplituden- und Phasenmessung; akustische Oberflächenwellen; OFW; Materialdatenbestimmung; Michelson interferometer; amplitude and phase detection; surface acoustic waves; SAW; material characterisation
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Measurement and Control Technology > Chair Measurement and Control Technology - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer
Profile Fields > Emerging Fields > Energy Research and Energy Technology
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Measurement and Control Technology
Profile Fields
Profile Fields > Emerging Fields
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 19 Feb 2016 06:55
Last Modified: 19 Feb 2016 06:55
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/30868