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Fischerauer, Alice ; Fischerauer, Gerhard ; Kotschate, Alexander:
Mikrosensor für gleichzeitige Feuchte- und Temperaturmessung mit dreidimensional strukturierten Interdigitalelektroden.
In:
Sensoren und Messsysteme 2014 : Beiträge der 17. ITG/GMA-Fachtagung vom 3. bis 4. Juni 2014. -
Berlin
: VDE-Verlag
,
2014
. - 6 S.
. - (ITG-Fachbericht
; 250
)
ISBN 978-3-8007-3622-5
Abstract
Es wird ein neuartiger Sensor vorgestellt, der die gleichzeitige Messung von Temperatur und relativer Luftfeuchte bei rascher Ansprechzeit ermöglicht. Die sensitive Fläche besteht aus zwei kammartig ineinander greifenden planaren Interdigitalektroden. Auf jedem Elektrodenfinger ist ein zum nächsten Finger überkragender Balken aus einem metallischen Schichtstapel aufgebracht. Zwei Sensortypen dieser Art, die sich in den geometrischen Abmessungen und den Materialien der Balken unterscheiden, wurden in einer Klimakammer über 20 Stunden hinweg verschiedenen Feuchten und Temperaturen ausgesetzt; dabei wurde fortlaufend die Sensorimpedanz im Frequenzbereich von 10 kHz bis 2,5 MHz aufgenommen. Aus den Impedanzspektren und Klimadaten wurde das Kennlinienfeld des Sensors extrahiert. Damit lassen sich die Temperatur und relative Feuchte aus der Sensorimpedanz bei lediglich zwei Frequenzen ableiten.
Abstract in weiterer Sprache
We propose a novel sensor which allows the simultaneous measurement of temperature and relative humidity with fast response time. The sensitive area consists of two comb-like planar interdigital electrodes. Above each finger of the electrode "hovers" a short but very broad cantilever which reaches over to the adjacent finger. The cantilevers are assembled from a stack of thin metallic layers. Two types of sensors differing in dimensions and stack materials were subjected to varying temperatures and relative humidities for 20 hours in a climate chamber. During these tests, the sensor impedance was measured in the frequency range from 10 kHz to 2.5 MHz. From the impedance spectra and climate data, a set of characteristic curves was extracted which allow one to determine the instantaneous temperature and humidity from the sensor impedance at only two frequencies.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Aufsatz in einem Buch |
|---|---|
| Begutachteter Beitrag: | Nein |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 09 Mär 2016 07:12 |
| Letzte Änderung: | 04 Okt 2023 12:53 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/31647 |