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Mikrosensor für gleichzeitige Feuchte- und Temperaturmessung mit dreidimensional strukturierten Interdigitalelektroden

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Fischerauer, Alice ; Fischerauer, Gerhard ; Kotschate, Alexander:
Mikrosensor für gleichzeitige Feuchte- und Temperaturmessung mit dreidimensional strukturierten Interdigitalelektroden.
In: Sensoren und Messsysteme 2014 : Beiträge der 17. ITG/GMA-Fachtagung vom 3. bis 4. Juni 2014. - Berlin und Offenbach : VDE-Verlag , 2014 . - 6 S. . - (ITG-Fachbericht ; 250 )
ISBN 978-3-8007-3622-5

Abstract in another language

Es wird ein neuartiger Sensor vorgestellt, der die gleichzeitige Messung von Temperatur und relativer Luftfeuchte bei rascher Ansprechzeit ermöglicht. Die sensitive Fläche besteht aus zwei kammartig ineinander greifenden planaren Interdigitalektroden. Auf
jedem Elektrodenfinger ist ein zum nächsten Finger überkragender Balken aus einem metallischen Schichtstapel aufgebracht. Zwei Sensortypen dieser Art, die sich in den geometrischen Abmessungen und den Materialien der Balken unterscheiden, wurden in einer Klimakammer über 20 Stunden hinweg verschiedenen Feuchten und Temperaturen ausgesetzt; dabei wurde fortlaufend die Sensorimpedanz im Frequenzbereich von 10 kHz bis 2,5 MHz aufgenommen. Aus den Impedanzspektren und Klimadaten wurde das Kennlinienfeld des Sensors extrahiert. Damit lassen sich die Temperatur und relative Feuchte aus der Sensorimpedanz bei lediglich zwei Frequenzen ableiten.

Abstract in another language

We propose a novel sensor which allows the simultaneous measurement of temperature and relative humidity with fast response time. The sensitive area consists of two comb-like planar interdigital electrodes. Above each finger of the
electrode "hovers" a short but very broad cantilever which reaches over to the adjacent finger. The cantilevers are assembled from a stack of thin metallic layers. Two types of sensors differing in dimensions and stack materials were subjected to varying temperatures and relative humidities for 20 hours in a climate chamber. During these tests, the sensor impedance was measured in the frequency range from 10 kHz to 2.5 MHz. From the impedance spectra and climate data, a set of characteristic curves was extracted which
allow one to determine the instantaneous temperature and humidity from the sensor impedance at only two frequencies.

Further data

Item Type: Article in a book
Refereed: No
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Measurement and Control Technology > Chair Measurement and Control Technology - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Measurement and Control Technology
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 09 Mar 2016 07:12
Last Modified: 09 Mar 2016 07:12
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/31647