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Impedimetric titanium dioxide thin-film gas sensors

Titelangaben

Ebersberger, Lucas ; Fischerauer, Alice ; Fischerauer, Gerhard:
Impedimetric titanium dioxide thin-film gas sensors.
In: Kanoun, Olfa (Hrsg.): Lecture notes on impedance spectroscopy. Band 5. - London : CRC Press , 2015 . - S. 83-89
ISBN 978-1-138-02754-1

Abstract

Titanium dioxide, or TiO₂, is a well-known sensor material. We have investigated the impedance characteristics and surface roughness of two different types of devices involving TiO₂-coated planar interdigital electrodes. One of them has a silicon dioxide (SiO₂) insulation layer, the other one is built up without this layer. In this contribution, the response to selected hydrocarbons and humidity (at a temperature near 300 °C) and the influence of the substrate material will be discussed in some detail.

Weitere Angaben

Publikationsform: Aufsatz in einem Buch
Begutachteter Beitrag: Nein
Keywords: Impedance spectroscopy; titanium dioxide; gas sensor; humidity; hydrocarbons; substrate
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer
Fakultäten
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften
Eingestellt am: 29 Mär 2016 11:28
Letzte Änderung: 29 Mär 2016 11:28
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/31970