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Fischerauer, Gerhard:
Microacoustic devices as chemical sensors.
2010
Veranstaltung: 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium
, 11.-14.10.2010
, San Diego, California, USA.
(Veranstaltungsbeitrag: Kongress/Konferenz/Symposium/Tagung
,
Vortrag
)
Abstract
Microacoustic chemical sensors based, for instance, on quartz crystal microbalances (QCM) or surface acoustic wave (SAW) devices have been popular in laboratories around the world for almost 30 years. They have also met with some commercial success, and one of the underlying effects, viz., mass loading, is routinely used in thin-film technology to monitor film growth during deposition. This shourt course aims at introducing the principles of such sensors and typical issues likely to crop up during their application. The focus is on physical and functional aspects with an emphasis on transduction mechanisms and terminal characteristics. For this reason, the course might also appeal to those interested in micro-acoustic sensors in general.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Veranstaltungsbeitrag (Vortrag) |
|---|---|
| Begutachteter Beitrag: | Nein |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 12 Nov 2021 08:46 |
| Letzte Änderung: | 12 Nov 2021 08:46 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/67764 |