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A Novel Method for the Visualization of Vibrations in Surface Acoustic Wave Devices

Titelangaben

Gollwitzer, Andreas ; Fischerauer, Gerhard:
A Novel Method for the Visualization of Vibrations in Surface Acoustic Wave Devices.
In: Proceedings Sensor Conference 2007 : 13th international conference. Volume 2. - Wunstorf : AMA Service , 2007 . - S. 81-86
ISBN 978-3-9810993-2-4

Abstract

We have realized a setup capable of measuring the amplitude and phase of vibrations in surface acoustic wave (SAW) devices. It consists of a modified Michelson interferometer and a vector network analyzer (VNA). This combination and additional signal processing make it possible to detect the complex amplitude of a harmonic displacement on the surface of a SAW device. We discuss this technique and explain our setup with an upper frequency limit in the gigahertz range, a minimum detectable displacement amplitude of 50 pm and a lateral resolution of about 500 nm. We demonstrate our setup by showing 2D pictures of the complex amplitude of a SAW propagating over an interdigital transducer (IDT) region and comparing the results with a calculation of the phase of the SAW in this area. We also show, how to obtain the piezoelectric coupling coefficient of the Rayleigh wave in the observed material.

Weitere Angaben

Publikationsform: Aufsatz in einem Buch
Begutachteter Beitrag: Nein
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer
Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften
Eingestellt am: 12 Nov 2021 12:49
Letzte Änderung: 12 Nov 2021 12:49
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/67783