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Gollwitzer, Andreas ; Lerner, Andreas ; Fischerauer, Gerhard:
Interferometric observation of surface acoustic wave phase fronts.
In:
Proceedings of the 2006 IEEE International Frequency Control Symposium and Exposition ; Miami, Florida, 4-7 June, 2006. -
Piscataway, NJ
: IEEE
,
2006
. - S. 424-427
ISBN 1-4244-0073-2
DOI: https://doi.org/10.1109/FREQ.2006.275423
Abstract
By combining a homodyne Michelson interferometer with an automatic vector network analyzer (NWA), we have realized a setup capable of observing the amplitude and phase of the particle displacement associated with a propagating surface acoustic wave (SAW). We discuss the hardware and the signal processing details of our setup which is characterized by an upper frequency limit in the gigahertz range, a displacement amplitude resolution on the order of 50 pm and a lateral resolution of about 500 nm. Especially intriguing features of the setup are its insensitivity to the quiescent path length difference of the two interferometer arms and the fact that no calibration is required. The concept is demonstrated by way of 2D pictures (surface scans) of propagating SAWs in interdigital transducer (IDT) regions.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Aufsatz in einem Buch |
|---|---|
| Begutachteter Beitrag: | Nein |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 17 Nov 2021 10:49 |
| Letzte Änderung: | 17 Nov 2021 10:49 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/67856 |