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Pecher, Peter:
Quantitative Bestimmung der Teilchenflüsse aus Methan-ECR-Plasmen.
1997
. - II, 112 S.
(
Dissertation,
1998
, Universität Bayreuth, Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik)
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Dissertation |
|---|---|
| Keywords: | ECR-Beschichten; Methan; Plasmatechnik |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik > Physikalisches Institut Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik > Physikalisches Institut > Ehemalige Professoren Fakultäten |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik |
| Eingestellt am: | 24 Feb 2016 08:22 |
| Letzte Änderung: | 24 Feb 2016 08:22 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/26788 |