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Quantitative Bestimmung der Teilchenflüsse aus Methan-ECR-Plasmen

Titelangaben

Pecher, Peter:
Quantitative Bestimmung der Teilchenflüsse aus Methan-ECR-Plasmen.
1997 . - II, 112 S.
( Dissertation, 1998 , Universität Bayreuth, Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik)

Weitere Angaben

Publikationsform: Dissertation
Keywords: ECR-Beschichten; Methan; Plasmatechnik
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik
Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik > Physikalisches Institut
Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik > Physikalisches Institut > Ehemalige Professoren
Fakultäten
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
Eingestellt am: 24 Feb 2016 08:22
Letzte Änderung: 24 Feb 2016 08:22
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/26788