Titelangaben
Stebani, Jürgen:
Photolabile 1-Aryl-3,3-dialkyl-triazene und Triazenpolymere für die Anwendung in der Laser-Mikrolithographie und Photoresisttechnik.
1993
. - 191 S.
(
Dissertation,
1993
, Universität Bayreuth, Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften)
Weitere Angaben
Publikationsform: | Dissertation |
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Keywords: | Chromophor; Laserablation; Photoresist; Polymethylmethacrylate; Triazene |
Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften |
Titel an der UBT entstanden: | Ja |
Themengebiete aus DDC: | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie |
Eingestellt am: | 22 Jan 2016 08:04 |
Letzte Änderung: | 22 Jan 2016 08:04 |
URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/27173 |