Title data
von Keudell, Achim:
Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in-situ-Ellipsometriestudie.
1996
. - 93 S.
(
Doctoral thesis,
1996
, Universität Bayreuth, Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik)
Further data
Item Type: | Doctoral thesis |
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Keywords: | Amorpher Zustand; Ellipsometrie; Kohlenwasserstoffe; PECVD-Verfahren; Schichtwachstum |
Institutions of the University: | Faculties > Faculty of Mathematics, Physics und Computer Science Faculties > Faculty of Mathematics, Physics und Computer Science > Department of Physics Faculties > Faculty of Mathematics, Physics und Computer Science > Department of Physics > Former Professors Faculties |
Result of work at the UBT: | Yes |
DDC Subjects: | 500 Science > 530 Physics |
Date Deposited: | 25 Feb 2016 09:08 |
Last Modified: | 05 Apr 2016 13:17 |
URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/27587 |