Messsystem zur Erfassung der Phasenfronten von hochfrequenten Oberflächenwellen

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Gollwitzer, Andreas ; Fischerauer, Gerhard:
Messsystem zur Erfassung der Phasenfronten von hochfrequenten Oberflächenwellen.
In: Technisches Messen. Vol. 74 (2007) Issue 4 . - pp. 235-242.
ISSN 2196-7113
DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2007.74.4.235

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Abstract in another language

Es wird ein neues interferometrisches Verfahren zur Erfassung von akustischen Oberflächenwellen (OFW) im Gigahertzbereich mit einer Amplitude unterhalb einem Nanometer vorgestellt. Durch den Einsatz eines vektoriellen Netzwerkanalysators (VNA) ist das zerstörungsfreie und berührungslose Messverfahren in der Lage, sowohl die Amplitude als auch die Phase der Schwingung an jedem Punkt der zu untersuchenden Oberfläche zu bestimmen. Erweiterungen am homodynen Michelson-Interferometer und anschließende digitale Signalverarbeitung machen den Aufbau unempfindlich gegenüber der Längendifferenz der beiden Interferometerarme. Es wird außerdem gezeigt, wie an Hand der Messdaten die richtungsabhängige Ausbreitungsgeschwindigkeit der akustischen Wellen ermittelt werden können.

Abstract in another language

We present a noval interferometric approach to measure surface acoustic waves (SAW) at frequencies in the gigahertz range and with amplitudes below one nanometer. By the use of a vector network analyser (VNA), the non-destructive and contact-free measurement method is capable of determining the amplitude and the phase of the vibration in every point of the observed surface. Extensions to the homodyne Michelson interferometer and subsequent digital signal processing make the setup insensitive of the path length difference of the two interferometer arms. It will be shown the measurement enable one to calculate the direction-dependent velocity of the acoustic waves.