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Herink, Georg:
Method and device for in situ process monitoring.
US20210396508A1 (2019)
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Patent |
|---|---|
| Patentanmelder: | Georg Herink |
| Datum der Anmeldung des Patents: | 2019 |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Mathematik, Physik und Informatik > Physikalisches Institut > Juniorprofessur Experimentalphysik VIII - Ultraschnelle Dynamik > Juniorprofessur Experimentalphysik VIII - Ultraschnelle Dynamik - Juniorprof. Dr. Georg Herink |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik |
| Eingestellt am: | 05 Jul 2023 07:37 |
| Letzte Änderung: | 05 Jul 2023 07:37 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/85963 |