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Combinatorial Optimization of a Molecular Glass Photo Resist System for Electron Beam Lithography

Titelangaben

Bauer, Wolfgang-Andreas ; Neuber, Christian ; Ober, Christopher K. ; Schmidt, Hans-Werner:
Combinatorial Optimization of a Molecular Glass Photo Resist System for Electron Beam Lithography.
In: Advanced Materials. Bd. 23 (2011) Heft 45 . - S. 5404-5408.
ISSN 1521-4095
DOI: https://doi.org/10.1002/adma.201103107

Angaben zu Projekten

Projektfinanzierung: Deutsche Forschungsgemeinschaft
Bayerisches Staatsministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst

Abstract

Electron beam lithography is a powerful technique for the productionof nanostructures but pattern quality depends on numerous interacting process variables. Orthogonal gradients of resist composition, baking temperatures, and development time as well as dose variations inside writing fields are used to prepare ternary combinatorial libraries for an efficient stepwise optimization of a molecular glass negative tone resist system.

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Institutionen der Universität: Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I - Univ.-Prof. Dr. Hans-Werner Schmidt
Profilfelder
Profilfelder > Advanced Fields
Profilfelder > Advanced Fields > Polymer- und Kolloidforschung
Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien
Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Institut für Makromolekülforschung - BIMF
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Zentrum für Kolloide und Grenzflächen - BZKG
Forschungseinrichtungen > Sonderforschungsbereiche, Forschergruppen
Forschungseinrichtungen > Sonderforschungsbereiche, Forschergruppen > SFB 481 Komplexe Makromolekül- und Hybridsysteme in inneren und äußeren Feldern
Graduierteneinrichtungen
Graduierteneinrichtungen > Elitenetzwerk Bayern
Graduierteneinrichtungen > Elitenetzwerk Bayern > Macromolecular Science
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie
Eingestellt am: 29 Jun 2015 10:08
Letzte Änderung: 29 Jun 2015 10:08
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/1209