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Towards environmentally friendly, dry deposited, water developable molecular glass photoresists

Titelangaben

Pfeiffer, Frauke ; Felix, Nelson M. ; Neuber, Christian ; Ober, Christopher K. ; Schmidt, Hans-Werner:
Towards environmentally friendly, dry deposited, water developable molecular glass photoresists.
In: Physical Chemistry Chemical Physics. Bd. 10 (2008) Heft 9 . - S. 1257-1262.
ISSN 1463-9084
DOI: https://doi.org/10.1039/b715819j

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Angaben zu Projekten

Projektfinanzierung: Alexander von Humboldt-Stiftung

Abstract

Photoresists based on molecular glasses are gaining more and more importance as resist material
to replace polymer based photoresist. In addition environmental issues have to be considered in
the long-term. Therefore the paper describes novel negative photoresists containing a ternary
mixture of a glassy low molecular functional polyphenol where the film preparation is possible by
solvent-free physical vapor deposition. After UV light exposure and a thermal annealing process
to enable acid catalyzed crosslinking between the molecular glass and the crosslinker, the
photoresist was developed using only water to give well-defined patterns. In order to
experimentally study efficiently the multiple parameters such as composition, exposure dose, and
development times combinatorial PVD techniques were utilized.

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Institutionen der Universität: Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I - Univ.-Prof. Dr. Hans-Werner Schmidt
Profilfelder
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Profilfelder > Advanced Fields > Polymer- und Kolloidforschung
Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien
Forschungseinrichtungen
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Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Institut für Makromolekülforschung - BIMF
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Zentrum für Kolloide und Grenzflächen - BZKG
Forschungseinrichtungen > Sonderforschungsbereiche, Forschergruppen
Forschungseinrichtungen > Sonderforschungsbereiche, Forschergruppen > SFB 481 Komplexe Makromolekül- und Hybridsysteme in inneren und äußeren Feldern
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie
Eingestellt am: 26 Jun 2015 08:21
Letzte Änderung: 26 Jun 2015 08:21
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/1304