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Sub-30 nm patterning of molecular resists based on crosslinking through tip based oxidation

Titelangaben

Lorenzoni, Matteo ; Wagner, Daniel ; Neuber, Christian ; Schmidt, Hans-Werner ; Perez-Murano, Francesc:
Sub-30 nm patterning of molecular resists based on crosslinking through tip based oxidation.
In: Applied Surface Science. Bd. 442 (Juni 2018) . - 106 - 113.
ISSN 1873-5584
DOI: 10.1016/j.apsusc.2018.02.096

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Link zum Volltext (externe URL): Volltext

Angaben zu Projekten

Projektfinanzierung: SNM Project - Single Nanometer Manufacturing for beyond CMOS devices

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Keywords: Molecular glass resist; Scanning probe lithography; Tip based oxidation
Institutionen der Universität: Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften
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Fakultäten > Fakultät für Biologie, Chemie und Geowissenschaften > Fachgruppe Chemie > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I > Lehrstuhl Makromolekulare Chemie I - Univ.-Prof. Dr. Hans-Werner Schmidt
Profilfelder
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Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Zentrum für Kolloide und Grenzflächen - BZKG
Forschungseinrichtungen > Institute in Verbindung mit der Universität > Bayerisches Polymerinstitut (BPI)
Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren
Forschungseinrichtungen > Institute in Verbindung mit der Universität
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie
Eingestellt am: 21 Mär 2018 08:15
Letzte Änderung: 26 Mär 2018 12:11
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/43059