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Sub-30 nm patterning of molecular resists based on crosslinking through tip based oxidation

Titelangaben

Lorenzoni, Matteo ; Wagner, Daniel ; Neuber, Christian ; Schmidt, Hans-Werner ; Perez-Murano, Francesc:
Sub-30 nm patterning of molecular resists based on crosslinking through tip based oxidation.
In: Applied Surface Science. Bd. 442 (2018) . - S. 106-113.
ISSN 1873-5584
DOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2018.02.096

Volltext

Link zum Volltext (externe URL): Volltext

Angaben zu Projekten

Projektfinanzierung: SNM Project - Single Nanometer Manufacturing for beyond CMOS devices

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Keywords: Molecular glass resist; Scanning probe lithography; Tip based oxidation
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Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Zentrale wissenschaftliche Einrichtungen
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Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie
Eingestellt am: 21 Mär 2018 08:15
Letzte Änderung: 07 Nov 2023 10:50
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/43059