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Zeuke, Christoph:
Multikaskadenregelung von Verdampfungsquellen.
Aachen
:
Shaker
,
2015
. - XVIII, 141 S.
- (Bayreuther Beiträge zur Sensorik und Messtechnik
; 12
)
ISBN 978-3-8440-3336-6
(
Dissertation,
2014
, Universität Bayreuth, Fakultät für Ingenieurwissenschaften)
Weitere URLs
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Dissertation |
|---|---|
| Keywords: | Dünne Schicht; Expertensystem; Hierarchische Regelung; Kaskadenregelung; OLED; Prozessregelung; PVD-Verfahren; Schichtwachstum; Zeitvariantes Regelungssystem |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer Fakultäten |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 24 Feb 2016 14:03 |
| Letzte Änderung: | 24 Feb 2016 14:03 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/30209 |