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Deger, C. ; Born, Eberhard ; Angerer, Helmut ; Ambacher, Oliver ; Stutzmann, Martin ; Hornsteiner, Jörg ; Riha, Evelyn ; Fischerauer, Gerhard:
Sound velocity of AlₓGa₁−ₓN thin films obtained by surface acoustic-wave measurements.
In: Applied Physics Letters.
Bd. 72
(1998)
Heft 19
.
- S. 2400-2402.
ISSN 1077-3118
DOI: https://doi.org/10.1063/1.121368
Abstract
To determine the sound velocity in wurtzite Al_{x}Ga_{1-x}N, we have used surface acoustic-wave
(SAW) delay lines on Al_{x}Ga_{1-x}N/c-Al2O3. Al_{x}Ga_{1-x}N films with compositions from x=0 to
x=1 were grown by plasma-induced molecular beam epitaxy. Starting from published data, we fine tuned the values of the elastic moduli used in numerical calculations such that the simulated and measured dispersion of the SAW were in good agreement. Based on these values, the surface and bulk acoustic-wave velocities of single-crystal Al_{x}Ga_{1-x}N were determined as functions of the composition. The resulting SAW velocities ranged from 3700 to 5760 m/s for GaN and AlN, respectively.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Artikel in einer Zeitschrift |
|---|---|
| Begutachteter Beitrag: | Ja |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 25 Feb 2016 11:51 |
| Letzte Änderung: | 05 Okt 2023 06:49 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/31132 |