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Gollwitzer, Andreas ; Fischerauer, Gerhard:
Visualization of microacoustic waves by laser interferometry.
In:
Chiba University, Japan
(Hrsg.):
Proceedings of the Fourth International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems. -
Chiba, Japan
: Selbstverlag Chiba University
,
2010
. - S. 29-36
Abstract
This contribution reports on a modified homodyne Michelson interferometer that, together with a precision translation stage, enables one to scan the surface of microacoustic devices and to measure the absolute amplitude and phase of vibrations on that surface. Dedicated signal processing algorithms serve to eliminate the influence of path length variations in the two interferometer arms which would otherwise disturb the amplitude measurement. The setup is used to visualize SAW generation, propagation, and scattering phenomena in typical devices, and to extract material parameters such as wave velocities and electroacoustic coupling factors.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Aufsatz in einem Buch |
|---|---|
| Begutachteter Beitrag: | Nein |
| Keywords: | Laser acoustics; Michelson interferometer; homodyne; signal processing; SAW |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik > Lehrstuhl Mess- und Regeltechnik - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 10 Jun 2016 08:41 |
| Letzte Änderung: | 10 Jun 2016 08:41 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/32644 |