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Gollner, Egmont ; Kita, Jaroslaw ; Moos, Ralf:
Frequency-tripled Nd : YAG-laser in thick-film and LTTC applications.
2006
Veranstaltung: 30. International Conference of International Microelectronics and Packaging Society (IMAPS)
, 24.-27.09.2006
, Krakow, Poland.
(Veranstaltungsbeitrag: Kongress/Konferenz/Symposium/Tagung
,
Sonstige
Präsentationstyp)
Abstract
This contribution deals with the possibilities and limitations of laser processing in thick film technology and ceramic substrate structuring. The advantages of shorter wavelength of a frequency tripled Nd:YAG laser, a Microline 350L series from LPKF, are shown. Surface features as fine as 20 μm have been produced and 3D structures have been made from green tape (up to a thickness of 2 mm) and fired ceramics (up to a thickness of 635 μm). Some comparison in structure quality between standard Nd:YAG (1064 nm) and frequency tripled Nd:YAG (355 nm) lasers are given. The discussion considers the optical quality of the 3D structures in conjunction with the electric properties of the surface thick-film structures.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Veranstaltungsbeitrag (Sonstige) |
|---|---|
| Begutachteter Beitrag: | Ja |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT Profilfelder Profilfelder > Advanced Fields Forschungseinrichtungen Forschungseinrichtungen > Forschungszentren |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 09 Jun 2015 08:09 |
| Letzte Änderung: | 06 Apr 2016 06:45 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/14858 |