bei Google ScholarTitelangaben
Kita, Jaroslaw ; Rettig, Frank ; Moos, Ralf:
Integration of Fired Ceramics on LTCC Structures - Feasibility Study.
2006
Veranstaltung: 4th European Microelectronics and Packaging Symposium
, 21.-24.05.2006
, Terme Catez, Slovenia.
(Veranstaltungsbeitrag: Kongress/Konferenz/Symposium/Tagung
,
Sonstige
Präsentationstyp)
Abstract
Zero-shrinkage LTCC tapes allow to manufacture LTCC microsystems that include an integrated sintered ceramic component without an additional firing step. In previous papers, it has been shown that green zero-shrinkage LTCC tapes can be joined with conventional 96% alumina ceramics by applying a ceramic binder, laminating the compound, and co-firing all together. In this contribution the feasibility of joining different ceramic composites as well as borosilicate glass with zero shrinkage LTCC tapes is demonstrated. The technological process steps as well as the influence of process parameters (lamination, firing profiles) and their influence on structure quality are discussed. Results of SEM microstructure analyses of LTCC ceramics and solid components in dependence of firing conditions are shown.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Veranstaltungsbeitrag (Sonstige) |
|---|---|
| Begutachteter Beitrag: | Ja |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT Profilfelder Profilfelder > Advanced Fields Forschungseinrichtungen Forschungseinrichtungen > Forschungszentren |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 17 Jun 2015 07:15 |
| Letzte Änderung: | 06 Apr 2016 06:43 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/14981 |