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Rettig, Frank ; Moos, Ralf:
LTCC Hot-Plates für Gassensoren.
2004
Veranstaltung: Sensoren und Mess-Systeme 2004
, 15.-16. März 2004
, Ludwigsburg, Deutschland.
(Veranstaltungsbeitrag: Kongress/Konferenz/Symposium/Tagung
,
Vortrag
)
Abstract
Keramische Dickschicht-Gassensoren weisen gegenüber in Silizium-Mikromechanik her-gestellten Gassensoren Vorteile bezüglich Hochtemperaturstabilität und Fertigungstechnologie auf. Nachteilig ist dagegen ihr hoher Heizleistungsverbrauch. Der hier beschriebene Gassensor auf LTCC-Basis kombiniert die positiven Eigenschaften beider Herstellungstechnologien. Der chemische Gassensor erreicht somit einen geringen Heizleistungsbedarf bei guter Hochtemperaturstabilität und vergleichsweise günstiger Fertigungstechnologie.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Veranstaltungsbeitrag (Vortrag) |
|---|---|
| Begutachteter Beitrag: | Ja |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT Profilfelder Profilfelder > Advanced Fields Forschungseinrichtungen Forschungseinrichtungen > Forschungszentren |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 29 Jun 2015 11:54 |
| Letzte Änderung: | 05 Apr 2016 06:50 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/15431 |