Sol-Gel-Synthese von aluminiumdotiertem Zinkoxid für UV-unterstützte resistive Raumtemperatur-Stickoxidsensoren

Titelangaben

Wagner, Ricarda ; Schönauer-Kamin, Daniela ; Moos, Ralf:
Sol-Gel-Synthese von aluminiumdotiertem Zinkoxid für UV-unterstützte resistive Raumtemperatur-Stickoxidsensoren.
2017
Veranstaltung: 13. Dresdner Sensor-Symposium 2017 , 04.-06.12.2017 , Dresden, Deutschland.
(Veranstaltungsbeitrag: Kongress/Konferenz/Symposium/Tagung , Poster )
DOI: https://doi.org/10.5162/13dss2017/P4.01

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Abstract

Über die Sol-Gel-Route wurden Zinkoxide (ZnO) mit Aluminiumgehalten von 0 % bis 5 % hergestellt. Durch eine XRD-Analyse konnte einphasiges Zinkoxid nachgewiesen werden. Aus den Pulvern wurden Pasten hergestellt, welche auf ein Aluminiumoxidsubstrat, bedruckt mit einer Interdigitalelektrodenstruktur, aufgebracht wurden. Die so hergestellten Sensoren zeigten ein großes Sensorsignal bei Raumtemperatur, hervorgerufen durch Beaufschlagung mit NO2. Wird der Sensor zusätzlich mit UV-Licht einer Wellenlänge von 365 nm bestrahlt, so verringern sich die Ansprech- und Abklingzeit des Sensorsignals. Außerdem kann durch UV-Licht der Einfluss von Feuchtigkeit auf das Sensorsignal eingedämmt werden. Die bisherigen Untersuchungen zeigen, dass die Sensoreigenschaften bezüglich NO2 von Zinkoxid bei Raumtemperatur sowohl durch Dotierung mit Aluminium als auch durch Bestrahlung mit UV-Licht verbessert werden.