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Untersuchung der Langzeitstabilität von NTCR-Dickschicht-Sensoren hergestellt mittels aerosolbasierter Kaltabscheidung

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Schubert, Michaela ; Münch, Christian ; Kita, Jaroslaw ; Moos, Ralf:
Untersuchung der Langzeitstabilität von NTCR-Dickschicht-Sensoren hergestellt mittels aerosolbasierter Kaltabscheidung.
2018
Event: Sensoren und Messsysteme 2018 , 26.6.-27.6.2018 , Nürnberg.
(Conference item: Conference , Speech )

Abstract in another language

In der vorliegenden Arbeit wurden erfolgreich NTC-Thermistorbauteile der Größe 1206 (3,2 mm x 1,6 mm) mittels der aerosolbasierten Kaltabscheidung hergestellt. Hierzu erfolgte eine Kaltabscheidung einer NiMn2O4-Dickschicht auf ein, mit gelaserten Soll-Bruchkanten und siebgedruckten AgPd-Interdigitalelektrodenstrukturen versehenes, Aluminiumoxidsubstrat. Die abgeschiedene NiMn2O4-Dickschicht ist dicht, homogen sowie kratzfest und weist eine gute Anbindung an das Substrat und die Siebdruckelektrode auf. Die elektrischen Eigenschaften (ρ25, B-Wert) sind reproduzierbar und entsprechen denen traditionell in Keramiktechnologie hergestellter Bulk-NTCR-Bauteile. Durch moderates Tempern bis 400 °C kann die Langzeitstabilität des R25- und des B-Wertes noch weiter verbessert werden.

Further data

Item Type: Conference item (Speech)
Refereed: Yes
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials
Research Institutions > Research Centres > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials
Profile Fields
Profile Fields > Advanced Fields
Research Institutions
Research Institutions > Research Centres
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 04 Jul 2018 05:46
Last Modified: 04 Jul 2018 05:46
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/44953