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Transmission electron microscopy study of Ge implanted into SiC

Titelangaben

Gorelik, Tatiana ; Kaiser, Ute ; Schubert, Christian ; Wesch, Werner ; Glatzel, Uwe:
Transmission electron microscopy study of Ge implanted into SiC.
In: Journal of Materials Research. Bd. 17 (2002) Heft 2 . - S. 479-486.
ISSN 2044-5326
DOI: https://doi.org/10.1557/JMR.2002.0067

Weitere Angaben

Publikationsform: Artikel in einer Zeitschrift
Begutachteter Beitrag: Ja
Keywords: Compound semiconductors; Microstructure; Ion implantation
Institutionen der Universität: Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Metallische Werkstoffe
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Metallische Werkstoffe > Lehrstuhl Metallische Werkstoffe - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Uwe Glatzel
Profilfelder
Profilfelder > Advanced Fields
Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien
Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT
Titel an der UBT entstanden: Nein
Themengebiete aus DDC: 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften
600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften
Eingestellt am: 09 Okt 2015 08:54
Letzte Änderung: 24 Jan 2018 09:06
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/5194