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Neuartiges Aerosolverfahren zur Abscheidung funktioneller Keramikschichten

Title data

Kaspar, Michael:
Neuartiges Aerosolverfahren zur Abscheidung funktioneller Keramikschichten.
Bayreuth , 2008
(Diploma, 2008 , Universität Bayreuth, Fakultät für Ingenieurwissenschaften, Lehrstuhl für Funktionsmaterialien)

Abstract in another language

Im Rahmen dieser Arbeit wurde eine Anlage zur Aerosolabscheidung keramischer Schichten aufgebaut. Ziel war die Herstellung dichter funktionskeramischer Sensorschichten sowie die Erzeugung dichter ionenleitender Keramikschichten.

Bei der Aerosolabscheidung werden ultrafeine Partikel unter der Sogwirkung einer Vakuumpumpe auf 100 m/s – 500 m/s beschleunigt. Beim Aufprall der Pulverpartikel auf ein Substrat bildet sich die Schicht.

Die Vorteile dieses Verfahrens liegen darin, dass die Schichtabscheidung bei Raumtemperatur ohne zusätzliche Wärmebehandlung stattfindet. Des Weiteren können dichte Schichten, die eine sehr hohe Haftfestigkeit aufweisen, auf nahezu allen Substraten hergestellt werden.

Erste Untersuchungen, das Verfahren zur Herstellung des Dreifachmetalloxids SrTi1-xFexO3-δ als resistiver Gassensor einzusetzen, verliefen äußerst vielversprechend.

Further data

Item Type: Master's, Magister, Diploma, or Admission thesis (Diploma)
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials
Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials
Research Institutions > Research Centres > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT
Profile Fields
Profile Fields > Advanced Fields
Research Institutions
Research Institutions > Research Centres
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 19 Feb 2015 12:11
Last Modified: 12 Aug 2016 07:26
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/6781