Die Pulveraerosoldepositionsmethode : ein neues Verfahren zur Herstellung dichter Sensorschichten bei Raumtemperatur

Titelangaben

Moos, Ralf:
Die Pulveraerosoldepositionsmethode : ein neues Verfahren zur Herstellung dichter Sensorschichten bei Raumtemperatur.
2021
Veranstaltung: 15. Dresdner Sensor-Symposium , 6.-8. Dezember 2021 , Dresden (virtuell).
(Veranstaltungsbeitrag: Kongress/Konferenz/Symposium/Tagung , Vortrag )
DOI: https://doi.org/10.5162/15dss2021/4.5

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Abstract

Für Sensoren werden oft funktionskeramische Schichten benötigt. Da diese üblicherweise bei Sintertemperaturen über 1000 °C hergestellt werden, lassen sich kaum Keramiken mit niedrigschmelzenden Metallen, Gläsern oder Polymeren verbinden. Komplexere Funktionskeramiken lassen sich oft gar nicht erst herstellen, da sie sich zersetzen bevor sie verdichten.