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Planarer Vierleiter-Transducer für impedanzspektroskopische Material- und Sensorcharakterisierung

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Hagen, Gunter ; Kita, Jaroslaw ; Schönauer-Kamin, Daniela ; Moos, Ralf:
Planarer Vierleiter-Transducer für impedanzspektroskopische Material- und Sensorcharakterisierung.
2013
Event: 11. Dresdner Sensor-Symposium , 09.-11.12.2013 , Dresden, Deutschland.
(Conference item: Conference , Other Presentation type)
DOI: https://doi.org/10.5162/11dss2013/F2

Official URL: Volltext

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Die Bestimmung der elektrischen Eigenschaften von Funktionsmaterialien in Sensoranwendungen stellt oftmals eine Herausforderung dar. Impedanzspektroskopische Untersuchungen geben Aufschluss über Leitfähigkeitsmechanismen oder dielektrische Eigenschaften der beteiligten Materialien. Allerdings sind dabei oftmals Elektroden- oder Grenzflächeneffekte beteiligt, die einen Rückschluss auf reine Materialgrößen erschweren. Genauere Ergebnisse zur Charakterisierung bietet die Vierleiter-Impedanzspektroskopie, die allerdings zumeist an kompakten Materialproben angewendet wird. Im vorliegenden Beitrag wird ein Sensor-Transducer vorgeschlagen, der die Anwendung solcher Messungen rein planar, also auch bei Sensorschichten oder in Flüssigkeiten ermöglicht. Geometrieunabhängige Materialkennwerte können durch Einführung eines Geometriefaktors erhalten werden. Der Aufbau des Transducers in keramischer Mikrosystemtechnik erlaubt außerdem die Integration eines Heizelements und damit die schnelle und unkomplizierte Anwendung der Vierleiter-Impedanzspektroskopie in sensornahen Strukturen auch bei erhöhter Temperaur.

Further data

Item Type: Conference item (Other)
Refereed: Yes
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials
Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials
Research Institutions > Research Centres > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT
Profile Fields
Profile Fields > Advanced Fields
Research Institutions
Research Institutions > Research Centres
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 30 Mar 2015 12:49
Last Modified: 14 Apr 2016 07:14
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/9443