Neuartige DSC-Messzelle mit integriertem Ofen und Tiegel in LTCC-Technologie

Title data

Missal, Wjatscheslaw ; Kita, Jaroslaw ; Wappler, Eberhard ; Moos, Ralf:
Neuartige DSC-Messzelle mit integriertem Ofen und Tiegel in LTCC-Technologie.
2010
Event: Sensoren und Messsysteme 2010 , 18.-19.05.2010 , Nürnberg, Deutschland.
(Conference item: Conference , Other Presentation type)

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Eine neuartige DSC-Messzelle (Differential Scanning Calorimetry, DSC) erfüllt, obwohl nur 11 mm x 39 mm x 1,5 mm groß, alle Funktionen eines DSC-Messgeräts, einschließlich der des Ofens. Sie wird mittels Dickschichttechnologie als Mehrlagenkeramik (Low Temperature Co-Fired Ceramics, LTCC) realisiert. Aufgrund ihrer einfachen Bauart ist die Herstellung sehr preiswert. Im Falle von Kontamination bzw. Zerstörung durch aggressive Probenmaterialien kann sie daher kostengünstig ersetzt werden. Erste Ergebnisse der Charakterisierung mit Hilfe von Indiumproben zeigen ein gutes dynamisches Verhalten der DSC-Messzelle. Höhe und Halbwertsbreite des Schmelzpeaks betragen 0,5 K bzw. 3,3 K (Probenmasse: 25,684 mg, Heizrate: 50 K/min, Auflösung: < 25 mK). Im derzeitigen Stadium ist der Zusammenhang zwischen Probenmasse und Schmelzpeakfläche linear bis zu Probenmassen von 12 mg.