Schnelle Temperaturmodulation von direkten thermoelektrischen Gassensoren

Title data

Rettig, Frank ; Thalmayr, Florian ; Moos, Ralf:
Schnelle Temperaturmodulation von direkten thermoelektrischen Gassensoren.
2007
Event: 8. Dresdner Sensor-Symposium , 10.-12.Dez.2007 , Dresden.
(Conference item: Conference , Other Presentation type)

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In Dickschichttechnik gefertigte temperaturmodulierte direkte thermoelektrische Gassensoren besaßen bisher den Nachteil, dass aufgrund der hohen thermischen Zeitkonstanten die Bestimmung der Messgröße Thermokraft etwa 50 s bis 100 s dauerte, was für viele Anwendungen zu lange ist. Im vorliegenden Beitrag wird hergeleitet und mittels Experimenten gezeigt, wie diese Ansprechzeit signifikant erniedrigt werden kann, ohne Einbußen an Genauigkeit und Reproduzierbarkeit hinnehmen zu müssen. Dies wird möglich, indem der Modulationsheizer möglichst nah an einer Elektrode der gassensitiven Schicht platziert wird. Zudem wird gezeigt, dass auch diese schnellen Sensoren den Vorteil der Geometrieunabhängigkeit besitzen.