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LTCC Hot-Plates für Gassensoren

Title data

Rettig, Frank ; Moos, Ralf:
LTCC Hot-Plates für Gassensoren.
2004
Event: Sensoren und Mess-Systeme 2004 , 15.-16. März 2004 , Ludwigsburg, Deutschland.
(Conference item: Conference , Speech )

Abstract in another language

Keramische Dickschicht-Gassensoren weisen gegenüber in Silizium-Mikromechanik her-gestellten Gassensoren Vorteile bezüglich Hochtemperaturstabilität und Fertigungstechnologie auf. Nachteilig ist dagegen ihr hoher Heizleistungsverbrauch. Der hier beschriebene Gassensor auf LTCC-Basis kombiniert die positiven Eigenschaften beider Herstellungstechnologien. Der chemische Gassensor erreicht somit einen geringen Heizleistungsbedarf bei guter Hochtemperaturstabilität und vergleichsweise günstiger Fertigungstechnologie.

Further data

Item Type: Conference item (Speech)
Refereed: Yes
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials
Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials
Research Institutions > Research Centres > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT
Profile Fields
Profile Fields > Advanced Fields
Research Institutions
Research Institutions > Research Centres
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 29 Jun 2015 11:54
Last Modified: 05 Apr 2016 06:50
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/15431