Ermittlung spezifischer Materialkennwerte von Schichten mittels Interdigital-Elektroden

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Exner, Jörg ; Moos, Ralf:
Ermittlung spezifischer Materialkennwerte von Schichten mittels Interdigital-Elektroden.
2015
Event: 12. Dresdner Sensor-Symposium , 07.-09.12.2015 , Dresden, Deutschland.
(Conference item: Conference , Poster )
DOI: https://doi.org/10.5162/12dss2015/P7.10

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Eine einfache aber genaue Ermittlung von spezifischen Materialkennwerten ist nicht nur für die Materialforschung, sondern auch in der späteren Anwendung von großem Interesse. Gerade Interdigital-Elektroden ermöglichen ein besonders einfaches Aufbringen der Beschichtung, da keine Deckelelektrode benötigt wird, erschweren aber im Gegenzug die Bestimmung von elektrischen Materialkennwerten durch einen komplexen, zunächst unbekannten Verlauf der Feldlinien. In dieser Arbeit wird deshalb ein einfach anzuwendender und nur von der Dicke der Schicht abhängiger Korrekturfaktor Fgeo vorgestellt, welcher durch eine Modellierung und Simulation mit der Software COMSOL Multiphysics ermittelt wurde. Eine Validierung erfolgt anhand von siebgedruckten bzw. per Aerosoldeposition (ADM) erzeugten ionenleitfähigen 8YSZ-Schichten verschiedener Dicken. Die ermittelten Leitfähigkeiten σ stimmen für alle Schichtdicken gut mit der Literatur überein.