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Bektas, Murat ; Püls, Simon ; Hagen, Gunter ; Moos, Ralf:
Resistiver Sauerstoffsensor mit temperaturunabhängiger Kennlinie.
2018
Event: Sensoren und Messsysteme 2018
, 26.6.-27.6.2018
, Nürnberg.
(Conference item: Conference
,
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)
Abstract in another language
Das Materialsystem BFT (Barium-Eisen-Tantalat) weist einen temperaturunabhängigen, aber sauerstoffabhängigen Widerstand auf. Sensoren wurden in Dickschicht-Technik auf Al2O3-Substraten mit integrierter Beheizung hergestellt. Die Funktionsschicht aus BaFe(1-x)-0.01Al0.01TaxO3-δ (BFATx, x = 0.1–0.3) wurde mittels der neuartigen Aerosol-Depositions-Methode (ADM, auch als aerosolbasierte Kaltabscheidung bezeichnet) aufgebracht. Im Temperaturbereich von 600 bis 800 °C und unter Variation des Sauerstoffpartialdrucks im Bereich von 10-2 bis 1 bar zeigen Sensoren mit BFAT25 eine schnelle und reproduzierbare Reaktion auf die Änderung des Sauerstoffpartialdrucks mit einer Sauerstoffempfindlichkeit von 0,25. Temperaturunabhängiges Verhalten des Sauerstoffsensors tritt 700 – 800 °C auf.