Keramischer DSC-Chip

Titelangaben

Kita, Jaroslaw ; Missal, Wjatscheslaw ; Moos, Ralf ; Rettig, Frank ; Wappler, Eberhard:
Keramischer DSC-Chip.
DE 102009056338 (2009)

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Messung physikalisch-chemischer, insbesondere thermodynamischer, Kenngrößen. Dieser Sensor ist in keramischer Mikrosystemtechnik aufgebaut. Er wird an einer externen Steuer- und Auswerteeinheit betrieben, mit welcher er durch einen integrierten Steckkontakt verbunden ist. Durch die integrierte Fertigungstechnik sind die Herstellkosten so niedrig, dass der Sensor als Einmalsensor und Massenprodukt eingesetzt werden kann.

Durch den Einsatz des Sensors soll der Markt mit einer kostengünstigen Lösung zur Bestimmung von wichtigen Stoffkenngrößen versehen werden, welche derzeit nur zu wesentlich höheren Kosten oder auf Umwegen durch aufwändige andere Verfahren gewonnen werden können.