Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer Menge einer Gaskomponente

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Geupel, Andrea ; Kubinski, David J. ; Canton, Mich ; Moos, Ralf ; Visser, Jacobus H.:
Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer Menge einer Gaskomponente.
DE 102010023523 (2010)

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Die Erfindung betrifft ein integrierendes Gassensorkonzept zur Detektion von sehr geringen Mengen eines Gases in einer Mehrkomponentengasmischung. Heute eingesetzte Sensoren detektieren die aktuelle Konzentration des Analyten zeitkontinuierlich. Dieses Messverfahren ist jedoch besonders bei auftretenden kleinen Konzentrationen fehlerbehaftet. Zudem werden die Grenzwerte der schädlichen Gaskomponenten in gesetzlichen Vorschriften oft in Mengeneinheiten angegeben. Gemäß der Erfindung wird daher ein Sensorkonzept vorgeschlagen, welches Gasanteile in kleinsten Konzentrationen mit Hilfe einer Aufsummierung oder Integration der Analytmoleküle über einen gewissen Zeitraum nachweisen kann. Dazu wird die zu detektierende Gaskomponente während der Messung in einer sensitiven Speicherschicht angereichert. Die durch den Speicherprozess bedingten Veränderungen der physikalischen Eigenschaften der Sensorschicht werden aufgezeichnet und dienen als Sensorsignal. Die Korrelation dieses Sensorsignals mit der Gesamtangebotsmenge des Analyten seit Beginn der Messung dient als Sensorkennlinie des integrierenden Gassensors. Damit ist der integrierende Gassensor besonders zur zuverlässigen Detektion geringster Mengen, wie in Überwachungs– oder Regelungsaufgaben gefordert, geeignet.