Verfahren zur Verbesserung der aerosolbasierten Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM)

Titelangaben

Hennerici, Lukas ; Linz, Mario ; Moos, Ralf ; Paulus, Daniel ; Schneider, Jürgen ; Sozak, Mutlucan:
Verfahren zur Verbesserung der aerosolbasierten Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM).
DE102024004104 (2024)

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für eine Verbesserung der Schichtherstellung mittels der aerosolbasierten Kaltabscheidung. Insbesondere lässt sich dadurch die Homogenität der Schichten erhöhen. Dies wird dadurch erzielt, dass eine Fleckdüse benutzt wird, deren Abscheidefleck in beide Dimensionen mindestens 5 mal kleiner als Abmaße der zu beschichteten Fläche ist, und dass Fleckdüse und Substrat relativ zueinander mit mindestens 20 cm/s verfahren werden, wobei jede Stelle auf der Beschichtung mindestens fünfmal überfahren werden muss.