Verfahren zur Verbesserung der aerosolbasierten Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM)

Title data

Hennerici, Lukas ; Linz, Mario ; Moos, Ralf ; Paulus, Daniel ; Schneider, Jürgen ; Sozak, Mutlucan:
Verfahren zur Verbesserung der aerosolbasierten Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM).
DE102024004104 (2024)

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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für eine Verbesserung der Schichtherstellung mittels der aerosolbasierten Kaltabscheidung. Insbesondere lässt sich dadurch die Homogenität der Schichten erhöhen. Dies wird dadurch erzielt, dass eine Fleckdüse benutzt wird, deren Abscheidefleck in beide Dimensionen mindestens 5 mal kleiner als Abmaße der zu beschichteten Fläche ist, und dass Fleckdüse und Substrat relativ zueinander mit mindestens 20 cm/s verfahren werden, wobei jede Stelle auf der Beschichtung mindestens fünfmal überfahren werden muss.

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Item Type:	Patent
Patent Applicant:	Erfinder
Date of the patent's registration:	6 December 2024
Institutions of the University:	Faculties > Faculty of Engineering Science Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials Research Institutions > Central research institutes > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT
Result of work at the UBT:	Yes
DDC Subjects:	600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited:	19 Jun 2026 04:59
Last Modified:	19 Jun 2026 05:05
URI:	https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/98852